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환경 측정 니즈에 대응 (광학계의 대기 중 배치 / 연속 가열・냉각 지원)
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기존의 대기형 SPM에서는 실현할 수 없었던 환경 하에서도 측정이 가능한 환경 제어형 SPM입니다.
표면 흡착수의 영향을 최소한으로 억제할 수 있는 고진공 상태에서의 전기 계측이나, 가열・냉각 상태에서의 시료 물성 Mapping 등이 가능합니다. 아울러 새롭게 개발한 「온도 Swipe 기능」 은 온도 환경 변화에 따른 시료의 열 확장 / 수축으로부터 기인하는 Z축 측정 영역 이탈을 감시하여 Feedback 제어함에 따라 Cantilever를 시료 면에 접촉한 채로 연속 물성 측정이 가능합니다.
(특허 3857581호, 특허 3926638호)
- 대기 중
- 액체 내
- 진공
- 온도 제어
- 습도 제어
간이 조작 실현 (통합형 홀더 Flange)
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공구가 필요 없는 「통합형 홀더 Flange 개폐 기능」을 채용하여 시료의 도입 교환이나 스캐너 교환을 용이하게 함과 동시에, 환경제어 SPM의 숙명인 시료 교환 후 광축 조정도 불필요해졌습니다. 측정 모드 전환 시의 홀더 교환조차 필요 없습니다.
탁월한 고성능 확립
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「Swing Cancel 기능」을 채용하여 시료부의 흔들림을 철저하게 감소시키고, Drift량을 줄였습니다. Nano Order의 구조 해석에 필수불가결한 기본 성능을 향상시켜 신뢰성을 높였습니다. Drift량: 0.015 nm/sec 이하
표면 흡착수의 영향 감소에 따른 전기물성 모드 분해능 향상
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전기 특성 등을 관찰할 경우, 시료 표면이나 탐침에 붙은 수분 등의 영향에 의해서 분해능이 저하되는 경우가 있습니다. 진공 상태로 만들면 표면에 부착된 수분과 오염 등을 배제시키고, 물성 관찰 모드에서의 고분해능 / 고감도 관찰이 가능해집니다.
검출계 | Optical Lever 방식 | 기본 기능 | AFM, DFM, PM, FFM |
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검출계 광원 | Low-Coherent형 반도체 레이저 | 기능 확장성* | SIS, STM, LM-FFM, VE-AFM, Adhesion, Current, SSRM, SNDM, PRM, KFM, EFM, MFM |
분해능 | 원자분해능 | 제진 기구 | 에어 공급식 Passive 제진대 |
시료 크기 | 최대 25 mmφ, 두께 10 mm | 대응 환경 | Manual Stage XY: ±2.5 mm |
스캐너 (주사 범위) |
Open-Roof - XY: 20 µm / Z: 1.5 µm - XY: 100 µm / Z: 15 µm - XY: 150 µm / Z: 5 µm Closed-Roof - XY: 15 µm |
対応環境 | 大気, 真空*, 液中*, 湿度*, 加熱冷却*(-120~300℃/RT~800℃) |
광학 현미경 | - 줌 기능 부속 현미경 - 금속현미경 |
진공 배기계* | 자기부상형 터보 분자 펌프 (250L/sec) 직결형 로터리 펌프 (200L/min(50Hz), 237L/min(60Hz)) |
* 옵션