간단・확실한 Cantilever 설치
기존 레버는 크기가 매우 작고 잡기가 어려웠으나, 센서 내장형 레버는 크기가 크고 잡기가 편리할 뿐만 아니라 설치도 간단하고 확실합니다.
자기검지와 Optical Lever 선택이 가능
자기검지 방식과 Optical Lever 방식의 선택이 가능합니다. Optical Lever 방식은 Cantilever에 레이저 광축을 맞추는 조정이 필요하지만, 자기검지 방식의 채용으로 이러한 필요를 덜었습니다. Optical Lever 방식의 Attachment를 추가함에 따라 다양한 기능을 확장할 수 있습니다. 또한, Optical Lever 방식의 변경은 케이블의 삽입/제거만으로 간단하게 가능합니다.
Pin-point Approach Type의 Cantilever를 통한 정확한 위치 선정
Cantilever가 탐침 선단의 위치를 바로 위에서 확인할 수 있는 구조로 설계되어 있으므로, 측정 위치를 간단하게 맞출 수 있습니다. 아울러, 탐침의 첨예화를 통한 고분해능화 또한 달성하였습니다.
손쉽게 조정할 수 있는 신형 Light Head
레이저 위치 조정을 위해 조정기구를 5축에서 4축으로 줄였으며, CCD Image와 위치 모니터를 보며 조정하므로 처음 조작하는 사람도 조정이 용이합니다.
간편한 기능 변경 지원
전용 소프트웨어, Cantilever 홀더 교환을 통하여 간편하게 기능을 변경할 수 있습니다.
Navigate System을 통한 간단 조작
Flowchart 방식 Navigate System으로 고분해능 표면을 누구나 쉽게 관찰할 수 있습니다. 또한, 시료의 경도나 요철 크기 등의 질문에 감각적으로 답변함에 따라 측정 파라미터를 간단히 설정할 수 있습니다.
공간 절약 설계의 실현
장비 본체에 제진기구, 방풍 커버, 시료와 Cantilever를 관찰할 수 있는 수직 USB 카메라를 설치되어 있어, 매우 콤팩트하게 정리되어 있습니다.
| 검출계 | 자기검지 방식 / Optical Lever 방식 | 기본 기능 | 자기검지: DFM, PM Optical Lever: AFM, DFM, PM, FFM |
|---|---|---|---|
| 검출계 광원 | 반도체 레이저 | 기능 확장성* | SIS, STM, LM-FFM, VE-AFM, Adhesion, Current, SSRM, SNDM, PRM, KFM, EFM, MFM |
| 분해능 | 원자분해능 | 제진 기구 | - 탁상 제진대 - Air 공급식 Passive 제진대 (선택) |
| 시료 크기 | 최대 35 mmφ, 두께 10 mm 최대 50 mm 모서리, 두께 20 mm* |
시료 이동 기구 | Manual Stage XY: ±2.5 mm Impact Stage Set* |
| 스캐너 (주사 범위) |
Open-Roof - XY: 20 µm / Z: 1.5 µm - XY: 100 µm / Z: 15 µm - XY: 150 µm / Z: 5 µm Closed-Roof - XY: 110 µm / Z: 6 µm |
지원 환경 | 대기, 액체 내*, 온도*, 가열* (실온~250°C) |
| 광학 현미경 |
자기검지 / Light Head 겸용 현미경 줌 기능 부속 현미경 금속 현미경 |
* 옵션